Для управления проводимостью вакуумного тракта и регулирования давления. Конкретный диапазон, привод и алгоритм управления проверяют по исполнению. Серия PSBV представлена в нескольких типоразмерах и конфигурациях.
Назначение и принцип работы
Регулирующий дисковый клапан изменяет проводимость вакуумного тракта поворотом пластины. Встроенный привод позиционирует её с высокой скоростью, поэтому узел можно использовать для downstream-регулирования давления в процессной камере. Конструкция рассчитана на работу между камерой и насосной системой, в том числе в процессах PVD, CVD, травления и ALD.
При подборе учитывают требуемую динамику контура, диапазон проводимости, состав газовой среды и количество частиц. Доступные материалы корпуса, типы фланцев и эластомеры позволяют согласовать клапан с конкретной вакуумной линией. Для интеграции необходимо отдельно определить алгоритм регулирования, интерфейсы контроллера и безопасное состояние установки.
Особенности конструкции
- Поворотная пластина одновременно служит регулирующим элементом и формирует требуемую проводимость.
- Быстрое позиционирование рассчитано на динамические технологические циклы.
- Конструкция рассчитана на воспроизводимое регулирование давления и проводимости.
- Конструкция ориентирована на удобное обслуживание и снижение простоев.
Технические характеристики
| Размеры | DN25-320 |
|---|---|
| Привод | встроенный контроллер с шаговым двигателем |
| Материал корпуса | алюминий или нержавеющая сталь |
| Фланцевые присоединения | ISO-KF, ISO-F |
| Герметичность корпуса | < 1 × 10⁻⁹ мбар·л/с |
| Диапазон давления | 1 × 10⁻⁸ мбар–1.2 бар (абс.) |
| Ресурс до первого обслуживания | регулирование давления — 2 млн |
| Температура | корпус клапана — ≤ 150 °C |
| Материалы | корпус и пластина — алюминий или нержавеющая сталь |
| Шток | нержавеющая сталь |
| Уплотнения | ввод движения — FKM (другие исполнения по запросу) |
| Герметичный ввод движения | вращающийся шток с прямым приводом |
| Монтажное положение | любое; рекомендуется размещать шток со стороны насоса |
| Максимальный перепад давления | на пластине — 1000 мбар ··· 75 мбар |
| Проводимость | молекулярный режим течения — 22 л/с ··· 27000 л/с |
| Минимальная регулируемая проводимость | нержавеющая сталь — 0.15 л/с ··· 6 л/с |
| Время открытия или закрытия | 0.09 с ··· 0.29 s |
Подбор и интеграция
До заказа определяют рабочее и предельное давление, допустимый перепад, температуру корпуса, состав газа и требования к чистоте. Затем согласуют размер прохода, стандарт фланцев, материал уплотнений, привод, питание, сигналы положения и доступное место для обслуживания. Для циклической установки дополнительно учитывают частоту переключений и требуемый ресурс до регламентных работ.
Размерные и электрические параметры выбирают для конкретного исполнения серии. В техническом задании полезно указать схему вакуумного тракта, направление потока, монтажное положение и сценарий безопасного останова.