Вакуумная сушка
Учитывают пары и конденсацию, температуру, скорость откачки, защиту насоса и доступность обслуживания.
Выращивание кристаллов
Вакуумная арматура должна соответствовать температурному режиму, газовой среде и длительности технологического цикла.
Производство литиевых батарей
Подбор зависит от среды, требований к чистоте, влажности, цикличности и интеграции в производственную линию.
Вакуумные печи
Для высокотемпературных процессов оценивают нагрев арматуры, материалы, уплотнения, монтажное положение и тепловое расширение.
Физика высоких энергий
Исследовательские установки предъявляют проектные требования к вакууму, материалам, прогреву, геометрии и диагностике.
Имитация космического пространства
В испытательных камерах важны герметичная изоляция больших объёмов, проводимость и управляемые режимы откачки.
Химическое осаждение из газовой фазы (CVD)
Для CVD проверяют совместимость со средой, температурный режим, образование отложений и требования к очистке.
Магнетронное распыление
При распылении учитывают осаждение продуктов процесса, загрязнение поверхностей и регламент обслуживания клапана.
Ионная имплантация
Вакуумные узлы для ионной имплантации требуют согласования чистоты, проводимости, герметичности и компоновки оборудования.
Сухое травление дисплеев
Арматуру оценивают по составу процесса, частицам, температуре, цикличности и доступности очистки.
Тонкоплёночное осаждение для солнечных панелей
Для процессов осаждения важны чистота, повторяемость движения, совместимость материалов и стабильность проводимости тракта.
Подсистемы Sub-Fab
Вакуумная арматура в насосных и газоотводящих подсистемах подбирается с учётом среды, загрязнений, обслуживания и аварийных режимов.
Передача подложек
Перемещение подложек между камерами требует согласовать проём, кинематику, чистоту, частицы и допустимый перепад давления.
Управление процессом и изоляция
Разделение камеры и насоса, управление потоком газа и воспроизводимое переключение состояний вакуумной системы.