Решения для вакуумных систем

Решение

Герметичная передача движения

Металлический сильфон позволяет передавать перемещение через герметичную границу; ход, нагрузка, ресурс и температура проверяются совместно.

Решение

Компоновка вакуумного тракта

Проводимость зависит не только от диаметра: учитываются длина, геометрия, переходы, клапаны и режим течения газа.

Решение

Защитное отсечение вакуумного узла

Сценарий защиты определяет время срабатывания, источник энергии, сигналы положения и состояние арматуры при потере питания.

Решение

Передача подложек между камерами

Передаточный узел согласуют с размером изделия, геометрией проёма, движением манипулятора, частицами и блокировками.

Решение

Регулирование давления downstream

Давление регулируют изменением проводимости между камерой и насосом. Для выбора нужны диапазон давления, газовый поток, объём камеры и требования к динамике.

Решение

Изоляция вакуумной камеры

Подбор отсечного клапана начинается с перепада давления, требуемой герметичности, проводимости открытого прохода и безопасного состояния при отказе.