Для перемещения подложек и изделий между участками установки с разделением вакуумных объёмов. Серия V70 представлена в нескольких типоразмерах и конфигурациях.
Назначение и принцип работы
Передаточный клапан разделяет технологические объёмы и открывает проход для перемещения подложки или изделия. В исполнениях с L-образной кинематикой заслонка сначала перемещается без контакта с корпусом, а затем прижимается к седлу. Такое движение уменьшает трение уплотнения, износ и образование частиц в зоне переноса.
Корпус, поверхность, материал уплотнения и геометрия проёма выбираются под камеру и манипулятор. Герметичный ввод на сварном металлическом сильфоне отделяет привод от вакуумного объёма. При проектировании проверяют направление монтажа, перепад давления перед открытием, логику блокировок и положение клапана при потере питания.
Особенности конструкции
- Бесконтактный подвод заслонки к седлу уменьшает трение и износ уплотнения.
- Плавное движение с низкой вибрацией и уменьшенным образованием частиц.
- Сварной металлический сильфон герметично отделяет привод от вакуумного объёма.
- Механическая фиксация закрытого положения повышает устойчивость к потере воздуха.
Технические характеристики
| Размеры | 46 × 236 мм, 50 × 336 мм |
|---|---|
| Привод | пневматический — двустороннего действия, с индикатором положения |
| Материал корпуса | алюминий или нержавеющая сталь |
| Герметичный ввод движения | металлический сильфон |
| Герметичность | корпус клапана — < 1 × 10⁻⁹ мбар·л/с |
| Седло | < 1 × 10⁻⁹ мбар·л/с |
| Твёрдое анодирование | < 1 × 10⁻⁶ мбар·л/с |
| Диапазон давления | 1 × 10⁻⁹ мбар–1.2 бар (абс.) |
| Допустимый перепад давления | на затворе — ≤ 1.2 бар |
| При открытии | < 30мбар |
| Ресурс до первого обслуживания | ≥ 3 млн |
| Температура | корпус клапана — ≤ 120 °C |
| Затвор | ≤ 120 °C |
| Материалы | корпус и пластина — EN AW-6061 (3.3211) |
| Шток | AISI 304 (1.4301) |
| Сильфон | AISI 633(AM350) |
| Уплотнения | крышка — FKM (Viton®) или другое исполнение по запросу |
| Затвор | FKM (Viton®) или другое исполнение по запросу |
| Монтажное положение | привод сверху или снизу |
| Электромагнитный клапан | 24 VDC, 2.5 W (другие исполнения по запросу) |
| Индикатор положения | электрические параметры напряжение ≤ 50 VDC |
| Ток | 0-80 mA |
| Мощность | ≤ 10 W |
| Подключение | 9 pin subminiature D |
| Подключение сжатого воздуха | быстроразъёмное соединение наружный диаметр 6 мм |
Подбор и интеграция
До заказа определяют рабочее и предельное давление, допустимый перепад, температуру корпуса, состав газа и требования к чистоте. Затем согласуют размер прохода, стандарт фланцев, материал уплотнений, привод, питание, сигналы положения и доступное место для обслуживания. Для циклической установки дополнительно учитывают частоту переключений и требуемый ресурс до регламентных работ.
Размерные и электрические параметры выбирают для конкретного исполнения серии. В техническом задании полезно указать схему вакуумного тракта, направление потока, монтажное положение и сценарий безопасного останова.